【事例】液晶基板検査装置のアクティブ除振対策

エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を…

液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。 大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を 事前調査したところ許容値を超えていました。 本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社