露光 | イプロスものづくり

PR従来の微細穴加工の工法とは異なる　セムテックエンジニアリング　独自の技…

従来のエッチング、レーザー、ドリル、フライス、放電加工では行えない、精度の高い微細な穴加工が行えます。弊社のスーパーマイクロシーブはエレクトロフォーミング技術による加工により生成されています。『穴径　5μm～30μm以上の加工』　製造過程で混在する粗粒子を個数レベルで完全に除去できます。『最小ピッチ　穴径＋10μmの狭さ』　一枚面積における穴数が多いため高効率の分級が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セムテックエンジニアリング

【露光装置の温度管理に最適】アピステの精密空調機PAUシリーズ

置いてつなぐだけでかんたんに精密空調を実現。囲った空間を自在に温調する…

【露光装置の温度管理に最適】精密空調機PAUシリーズ露光装置ではフォトマスクの膨張と収縮を抑えるため、冷風を供給し、温度を安定させる必要があります。 PAUユニットなら、温度・湿度・クリーン度が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アピステ

テレセントリックｆθレンズ仕様　レーザ露光装置

テレセントリックｆθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レ…

プリンテッド・エレクトロニクス関連で、絶縁膜のパターン形成や金属パターン形成、ＭＥＭＳ形状のバンク・隔壁形成に、ポジレジスト・ネガレジストをマスクレスで直接露光する「レーザ露光機」です。テレセントリックｆθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レーザ露光」で走査幅全域において高精度ビーム形状描画が可能。h線・i線を含む、レーザ波長　375，40...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・ドライブ

平行光露光装置

コンパクト設計な平行光露光装置です。

本装置は、点光源の超高圧水銀灯を光源とする、コリメーションミラー方式の平行光露光装置です。主要構成は、光源部・吸着式の露光テーブル部・マスク部から成り、露光方式は、真空密着式(ハードコンタクト)の露光方式が可能になっております。要望により、プロキシミティ方式も承ります。露光...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）

ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 f…

当製品は、半自動両面同時露光装置です。ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。アライメントなしのfast露光モード、ウエハとマスク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【英文市場調査レポート】中国の露光装置輸入の分析

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

露光装置は、半導体ラインの精度をはじめ、チップの消費電力や性能を左右する、チップ製造の最も重要な技術です。露光装置の開発が困難なため、中国のチップ製造業で使用される露光装置は輸入に大きく依存しています。当レポートでは、中国の露光装置輸入市場について分析し、全体的な輸入量・輸入額や主な輸入元 (2018年～2022年)、種類別の詳細動向、輸入価格の推移、主な市場促進・抑制要因、主要企業のプロファイルと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウエハサイズ後工程投影露光装置 MRS

■ ８インチ以下は「一括露光方式」、　 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の　実績あり ■ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サーマプレシジョン

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だか...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動等倍露光装置（セミオートマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送ユニット搭載の半自…

当製品は、半自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。基板を1枚毎にセットし、基板セット後，搬送～露光を自動で行う装置です。フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。従来の手動でギャップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

LED光源マスクレス露光装置　DL-1000シリーズ

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の…

D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD（Digital Micromirror Device）に転送されたグレースケール信号をピクセル（□1μm）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノシステムソリューションズ

UV露光装置 UVL-3

超高圧水銀ランプを光源に使用した簡易的な露光装置です

『UVL-3』は、卓上型のUV露光器です。主にガラス基板等を使用するフォトリソグラフィ工程において、露光焼付けを手軽に行うことが可能。カラー液晶と十字キーを装備し照射時間を正確にコントロールします。【...

メーカー・取り扱い企業：壺坂電機株式会社

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機である「BSシリーズ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

フォトレジストの研究開発用露光ツール　

フォトプロセス解析用露光装置シリーズ

フォトレジストの研究開発用露光ツール！フォトプロセス解析用露光装置シリーズ ■□■ラインナップ■□■ ■UVES-2000（g/h/i/248nmおよびブロード光対応解析露光装置） ■UVES-2500 （g...

メーカー・取り扱い企業：リソテックジャパン株式会社

【低ノイズ・多重露光】冷却CMOSカメラ『CS-69M/C』

CS-60シリーズから低ノイズで多重露光にも対応した710万画素冷却C…

12bit冷却CMOSカメラシステムCS-60シリーズから低ノイズで長時間露光可能な高画素タイプのCS-69が新たにラインナップ。長時間露光でもノイズ低減機能により冷却CCDに匹敵する低ノイズを実現しました。また、周期を指定した多重露光により移動する物体の軌跡を検出することも...

メーカー・取り扱い企業：ビットラン株式会社

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…

当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』をご紹介します。シンプル構造で低価格を実現。〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

両面同時露光マスクアライナー　BS320

ウェハ表裏同時露光。セミオート動作で中ロット生産に対応！

両面同時露光マスクアライナー　BS320は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

実験・研究機向け　手動式露光装置『MA-1000シリーズ』

独自のギャップ機構と高速画像処理！オートアライメントシステムで多層露光…

『MA-1000シリーズ』は、多品種小ロット生産や実験・研究に好適な手動式露光装置です。ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。また、用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、特殊レンズを好適に組み合わせた光学系を準備いたします...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ダイレクト露光装置

幅広く応用できる！アライナとしての機能のほか、ハーフトーン露光が可能で…

当製品は、Texas Instruments 社の 0.7XGA DMDを用いたマスクレス露光装置です。通常のアライナとしての機能のほか、中間調画像をデータとして与えることによりハーフトーン露光が可能。 MEMS(MicroElectrical Mechanical Sys...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユメックス

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

紫外光でスクリーン版へ直描と露光ができる印刷業界向けDLE

5,080dpiの高品質！紫外光でデザイン・パターンを直描可能なフィル…

ー感覚でご使用いただける印刷業界向けデジタルダイレクト製版装置です。スクリーン版を作成する際に使用していたマスクフィルム等を使用することなく、紫外光をピクセル単位で照射し、イメージを露光。ミクロンサイズの超微小な鏡(マイクロミラー)に反射させた紫外光で感光乳剤を露光することでシャープで高繊細な製版が実現可能です。【機種ラインアップ】 ■NEW-Compact(...

メーカー・取り扱い企業：クラボウ（倉敷紡績株式会社）

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡特に､...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

フォトプロセス解析露光装置　UVESシリーズ

最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能。

フォトプロセス解析露光装置　UVESシリーズはフォトレジストの研究開発用露光ツールです。ステップ露光することで最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能です。露光されたサンプルをレジスト現像アナライザを用...

メーカー・取り扱い企業：リソテックジャパン株式会社

ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！

『BEX-560DR-LED』は、生産性・高精度・大面積・省エネ・拡張性など 1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社べアック

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、C...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大日本科研

UV露光装置 LUV-1000

平行度を保証した高強度露光装置

超高圧水銀ランプ2kWを使用した露光装置です。専用PCソフトウェアから制御可能で、マスクの平面出しやガラスとのギャップ調整も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：壺坂電機株式会社

自動両面露光装置

フィルム材料用 Roll To Roll 自動両面露光装置

自動両面露光装置は、高精度両面自動整合機を搭載しています。平行光ランプで高精度画像が得られます。【特長】 ■タッチパネル PET フィルム用 Roll To Roll 露光装置 ■フィルム搬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

【資料進呈】FPCができるまで…（PowerPoint版）

【基礎知識・PowerPoint版ダウンロードOK！】少量多品種をメイ…

フレキシブルプリント基板はどのように製作されているのか！ FPCを知りたい方の教材として。標準仕様FPCの設計以降の製造工程についてご説明しています。【掲載内容（抜粋）】 ■露光 ■スルホール穴あけ ■銅めっき ■ドライフィルムラミネート ■露光 ※ダウンロードからはPDF版のご提供となります。 ※PowerPoint版は『サンプルソフト』よりダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：太洋テクノレックス株式会社　和歌山

試料裏面マスクアライメント露光装置　BAシリーズ

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光。

試料裏面マスクアライメント露光装置　BAシリーズは、従来の露光装置では困難であった試料裏面からのアライメントを可能にするローコストなマスクアライメント装置です。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、各種MEMSや半導体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

UV-LED露光用光源『UVE-365-50/50』

当社独自の総合技術によりUV-LED光源として完全な平行光を作ることに…

UV-LED露光用光源『UVE-365-50/50』は、従来のフライアイレンズや凹面鏡を使用せず、オリジナルの光学部品を使用することで非常にコンパクトな製品に仕上がりました。「UV-LED」は水銀を...

メーカー・取り扱い企業：カンタム・ウシカタ株式会社

マスクレス露光装置『 ME-120F』

最大12インチウエハに対応！汎用CAD対応の直接描画なので、フォトマス…

◆直接描画でフォトリソの課題を解消マスクレス露光装置は、DMD(Digital Micromirror Device)により、ワークに直接描画を行う装置です。フォトマスクの製作に必要とされていた莫大な費用と多くの時間が不要になることで、従来の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーエムティー本社・工場

露光装置(高精度スクリーン枠露光機)

全ての感光材料に適応可能！

露光用光源を主体に、印刷（製版、刷版）、エレクトロニクス（アートワーク、露光）分野に向けて、幅広いラインアップを取り揃えています。...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

最大4インチ角基板対応手動露光機

ズースマイクロテックMJB4は最大4インチ角基板まで対応可能な手動式マスクアライナ(露光装置)です。シンプルな操作性、高精度アライメント、高い露光解像性が特徴です。研究開発用途以外に少量生産用途でもご使用頂けます。...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

平行光露光装置

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

【12bit・低ノイズ】冷却CMOSカメラ『BS-70』シリーズ

小型・軽量・低価格のエントリーモデル登場！今まで撮れなかった微弱な可視…

外感度抜群でセキュリティ用途に最適（BS-70/72）・疑似16bit（14bit2×2加算）データを出力（BS-73）・16μm×16μmの高感度センサー搭載（BS-74）・1分以上の長時間露光も低ノイズで、機種により最長10分まで露光可能・簡単にソフト開発が可能なSDKを全機種対応で別途完備・ImageJ上から撮影が可能になるカメラドライバーを別途完備 ■冷却機能・真空引き窒素封...

メーカー・取り扱い企業：ビットラン株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

マスク式露光装置のグローバル分析レポート2023

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルマスク式露光装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月12日に発行しました。本レポートでは、マスク式露光装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

自動露光機と､手動露光機を取りそろえています。...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

高精度ダイレクト露光機『DE-6UHII』

パッケージプリント配線板用！次世代の回路形成をリードするダイレクト露光…

『DE-6UHII』は、業界トップレベルの解像性と生産性を同時に実現する高精度ダイレクト露光機です。より細線なパターン化に向け、独自に描画エンジン光学系の改良を重ね、ビームスポット径の微細化を実現しました。多様なスケール方式にも柔軟に対応します。次世代の回路形成をリードする、注...

メーカー・取り扱い企業：ビアメカニクス株式会社

露光装置の分析レポート2023-2029

露光装置の世界市場規模、シェア、動向分析調査レポート2023-2029…

2023年6月7日に、QYResearchは「グローバル露光装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。露光装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格及...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

小型均一・平行光露光光源「デモ機あり」

改良を重ねたオールマイティーな小型均一・平行光の露光用光源です。

トを取り揃えております。（100～400ｍ/ｍΦ） ※その他大面積はご相談下さい。また、各種フィルター等もご要望によりご提案致します。用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。【特徴】 ○ハィパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計 ○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三永電機製作所