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前回、MEMSジャイロの作り方として、エピポリシリコンプロセスが優れていることを説明しました。この作り方を採用しているのは、MEMSセンサの大手企業かつIDM（Integrated Device Manufacturer：設計から製造まで一貫して行う企業）であるドイツのロバート・ボッシュと、フランス・イタリアのSTマイクロエレクトロニクスです。今回は、このエピポリシリコンプロセスのキーポイントを説明します。
投稿日： カテゴリ： tags：今回は、MEMSジャイロの作り方を紹介します。MEMSジャイロはシリコンウェハ上に形成された微細構造からできています。この小さなメカニズムを、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜といった半導体微細加工技術を駆使して作ります。
投稿日： カテゴリ： tags：前回は、MEMSジャイロの原理について解説しました。今回は、MEMSジャイロのメカニズムを紹介します。
投稿日： カテゴリ： tags：前回は、さまざまなジャイロの種類とその性能について解説しました。世の中で最も使われているジャイロは、MEMSジャイロです。外見は何の変哲もないチップに見えます。ところが、その構造は実に驚異的です。構造については次回に説明することにして、今回はMEMSジャイロの原理を説明します。
投稿日： カテゴリ： tags：スマートフォンは、それ自身の動きを検出している―そう気付く利用ケースは多いと思います。持つ向きに合わせて画面が表示される、傾けてゲームを操作する、カメラの手振れ防止が働く、歩数や階段の上り下りも分かる。これらは、スマートフォンに搭載されたセンサによるものです。並行運動は加速度センサに、高さは気圧センサに、そして、回転はジャイロセンサ（以下、単にジャイロと呼びます）によって検出されます。本連載では、このジャイロに焦点を当てて解説していきます。第1回は、ジャイロの概要について紹介します。
