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基礎知識

プラズマの種類と特徴:プラズマ処理の基礎知識1

プラズマの種類と特徴:プラズマ処理の基礎知識1

プラズマ処理について理解するためには、まずプラズマとはどんなもので、どんな特徴を有するのかを知ることがその第一歩となります。本連載では、全6回にわたり、プラズマ処理の基礎知識を解説します。第1回は、プラズマの基本概念と、その中で起こっている荷電粒子と分子との衝突、応用上重要な弱電離プラズマの特長である電子の衝突反応、その結果起こる電子温度だけが異常に高くなる非平衡プラズマの実現について解説します。

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