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製造業技術用語集

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真空ポンプ

よみ シンクウポンプ
英 vacuum pump
概要 真空ポンプとは、容器内から気体を排出し、真空状態をつくりだすポンプの総称。英語のまま「バキュームポンプ」とも呼ぶ。空気の排出に油を使用するウェットポンプと、使用しないドライポンプとに大別される。必要な排気量と到達真空度、排気する気体の種類などによりポンプの形式を選ぶことになるが、大気圧から超高真空までを1台でカバーすることはできない。
ウェットポンプには、ロータリ式(油回転式)、油拡散式などがある。ドライポンプには、転翼式(ターボ分子ポンプ)、ダイヤフラム式、ルーツ式、ソープションポンプ、イオンポンプ、ゲッターポンプ、クライオポンプなどがある。

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