半導体、産業用の精密洗浄には、酸・アルカリ・有機溶剤などの薬液が用いられます。しかし、薬液を使用したくない場合も。
ＨＵＧパワーが提供する『蒸気２流体洗浄ユニット』は、２流体ノズルから水滴と蒸気を超音速で噴射し、対象物の表面に衝突する際に水滴内でキャビテーションを起こして汚れを落とす製品です。洗浄には純水のみを使用し、薬液を使わずに表面だけでなく微小穴の中の微細な異物も除去。洗浄にかかるコストの削減に加え、環境負荷の低減に貢献します。同社は現在、洗浄効果を検証できるデモテストを受付中。
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