ウエハBG・テラス検査機

オートアライメントと自動検査を　ハイスループット1枚30秒で検査します

ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。