アールエムテック株式会社
最終更新日:2019-09-19 16:09:22.0
光学分野イオンビームスパッタ装置
基本情報光学分野イオンビームスパッタ装置
光学、イオンビーム、スパッタ
光学分野用イオンビームスパッタ装置
光学フィルター用多層膜成膜イオンビームスパッタ装置
光学分野用イオンビームスパッタ装置です。
スパッタ:16cm RF Ion Source
アシスト:16cm RF Ion Source
ターゲット:2面 揺動機能
ステージ:自転
膜厚制御:透過型波長可変レーザー膜厚制御
主排気:クライオポンプ 又は TMP+SUPCOLD
詳しくはお問い合わせ願います。
(詳細を見る)
取扱会社 光学分野イオンビームスパッタ装置
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
光学分野イオンビームスパッタ装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。