アールエムテック株式会社
最終更新日:2019-09-19 16:46:05.0
小型研究用 イオンビームスパッタリング装置
基本情報小型研究用 イオンビームスパッタリング装置
イオンソースを搭載した実験用装置 超薄膜多層成膜に活用可能
「イオンビームスパッタリング装置」は、お客坂の使用用途に合わせて設計致します。
DC/RFイオンソースをスパッタ用およびアシスト用として使用し、超薄膜多層成膜を得られます。
詳しくはお問い合わせ願います。
小型研究用 イオンビームスパッタリング装置
OSIの「イオンビームスパッタリング装置」は、お客坂の使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置です。Veeco社の SPECTOR 相等の能力を発揮します。
RFイオンソースをスパッタ用およびスパッタ用/アシスト用として使用し、OMSまたはOTMソフトを搭載した精密光学の超薄膜多層成膜に適しています。
【特長】
■イオンソースを搭載した実験用装置
■Veeco社の SPECTOR 相等の能力を備える
■OMSまたはOTMソフトを搭載した精密光学の超薄膜多層成膜に最適
■使用ニーズに合わせてカスタマイズ可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る)
取扱会社 小型研究用 イオンビームスパッタリング装置
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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