拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』

当社が取り扱う、拡がり抵抗測定装置『SRP-170/2100』をご紹介します。

斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に2探針をコンタクトさせ、
そのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル、
EPI層の厚み、PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定。

「SRP2000」は、プローブのコンディショニング、ベベルアングルの測定、
標準サンプルのデータ入力などが全自動化し、多数サンプルの連続自動
測定ができ、サンプルは最大6個同時搭載可能です。

【特長】
■世界標準キャリア濃度分布・プロファイル測定装置
■測定自動化に対応（SRP-2100）
■オプションにより表面抵抗測定可（SRP-170)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）