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ご用途に合わせた焼結金属製品を提供。
数多くのシリーズ規格製品からのご紹介や特注製作対応を承ります。
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低価格なソルベント吸引向けとして使用可能な焼結金属製フィルター 。
高効率と耐久性を備え、用途に合わせ多種多様な形状・材質で提供可能。
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高品質な様々な材質の焼結ディスクを提供 。
スタンダードなディスク形状をはじめ、用途に合わせた特殊形状型ディスクの提供も可能。多種材質商品をラインナップ。
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スパージャー部分を素早く交換が可能 。
全てのスパージャー設備を取外すことなく、スパージャー部のみを予備のスパージャーへすばやく交換が可能です。
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焼結金属を利用したスパージャー 。
お客様のご要望仕様や形状に合わせカスタムメイド対応可能。
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米国mott社製フローリストリクターシリーズ (一般工業向け)
多孔質金属技術を用いた流量制御器 (一般工業向け)。
流量条件が比較的一定な環境下でニードルバルブ調整やオリフィスを使うことなく流量を制御します。接続継手の形状はご使用環境に合わせ多種ラインナップ。
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米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)
多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。
流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすこ…
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不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター
半導体ガス供給システムのマスフローコントローラー、レギュレーター、バルブなどの重要なコンポーネントを保護。
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真空チャンバーの大気復帰時のパーティクルかく乱防止
ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。
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大流量ながら高いパーティクル除去性能を発揮
mott社の長年のフィルター技術・経験を活かし、大流量ながら高性能な製品を提供
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リキッドソースの気化ラインに最適なフィルター
mott社独自技術によるエレメントを採用したリキッドソース向けインラインフィルター。
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ファイバーエレメントを使用した低価格インラインフィルター
不活性ガス向けの低価格フィルターであり、テフロンエレメント製フィルターからの置換にも最適。
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集積ガスボックス向けフィルター
1.125"、1.5"集積パネル規格向けのWシール、Cシール仕様を取り揃え。
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米国mott社製インラインガスフィルターDefenderシリーズ
mott社独自技術によるファイバーエレメントを使用した低圧損フィルター
大流量対応ながら、ろ過精度を低下させることなく、従来品の1/3の大きさを実現。
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ニッケルエレメントを使用した低価格・低圧損インラインフィルター
腐食性ガスをはじめ、様々なガス種へ対応可能な製品を多数ラインナップ。
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半導体産業や各種ハイテク産業向け高性能インラインフィルター
ご使用のガス種・使用流量に合わせた製品を多数ラインナップ。
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世界で唯一、UL991とS2の安全規格を満足した差圧計です！ 安全管理に最適な微差圧モニターのエコラインを是非ご検討ください。
他社では取得ができない厳しいUL991、SEMI-S2を取得 マイクロコントローラーを使用せず、暴走や潜在的なバグによる誤動作をなくした構造 一体型でコンパクト 様々なご要求に対応いたします（耐…
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コンパクトで軽量な３方向エア作動バルブです。高耐久性を実現！
VTシリーズはコンパクトな設計の３方向のエア作動バルブで高圧６８．９MPaまで（SUS316製のみ）対応可能なバルブです。バランスの良いポペット式設計で優れた耐久性を実現しました。
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精密制御が可能な最大CV値：０．００００５からのメタリングバルブです！
CCシリーズは最大圧力が６８．９MPaまでの精密なメタリングバルブになります。最大CV値は０．００００５と０．００１２５があり、閉止から全開までのハンドル回転数は２０回以上で高精度な流量制御が可能です…
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微圧用から超高圧用まで。極低温用から高温用まで対応の安全弁。
武井製作所製の微圧（0.01MPa）用から超高圧（130MPa）用まで、極低温（－269℃）用から高温（500℃）用までの安全弁です。 経済産業大臣認定事業所ですので認定品の供給が出来ます。 使用…
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■ IGS用（集積） ■ タイド式
■ 最新技術のOEMガスシステムのための製品 ■ 超高感度の圧力調整でマスフロー性能を強化 ■ 広範囲にわたるアプリケーションで優れた性能 ■ 卓越したDROOPと再現性 ■ 表面は10Raま…
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超高純度用減圧弁 ダイヤフラム式
■ 高感度金属ダイヤフラム減圧弁
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テスコム社製 超高純度用 タイド式減圧弁 64-2800シリーズ
タイド式レギュレーター キャプチャーベント用ボンネットリング付き
■ VCR接続 ■ ポジティブシール
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ポジティブシール方式 超高純度用レギュレーター
■ ダイヤフラムはタイド式です ■ シート材質選択できます ■ VCR接続
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ガイロンダイヤフラム使用の減圧弁
最大入口圧力2.07MPa/出口圧力範囲2.07MPaまで！ ■大流量、調整圧力降下量が少ない。 ■5種類の出口圧力範囲
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低圧システムのための理想的なパージレギュレーター
■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適
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PIDコントローラー内蔵 高精度！高速制御！ 自動化、遠隔操作に最適です。テスコム社製品との組み合わせで真空から超高圧まで対応。
テスコム社ER５０００シリーズは、PIDコントローラーを内蔵した電子制御圧力調整器です。フィードバック制御により、プロセス流量が変化しても高精度で圧力を制御できます。 また、プログラム運転にも対応し…
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高圧ガス認定品対応！ 超高圧用減圧弁
２６－１０００シリーズは６８．９MPa迄の圧力を最高６８．９MPa以下７段階の調整圧力範囲に減圧可能な超高圧用減圧弁です。 オプションで１０３．４MPa迄の圧力調整ができるタイプもございます。 こ…
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コンパクトサイズの大流量用ドーム型減圧弁
２６－１１００シリーズはコンパクトサイズの大流量用ドーム型減圧弁です。 ダイヤフラム制御により、高感度の圧力調整を行います。バランス型メインバルブを採用しておりますので瞬時圧力降下が少なく、またシー…
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テスコム社製 ドーム型減圧弁（大流量）26-1200 シリーズ
遠隔操作が可能な大流量用のドーム型減圧弁です！
２６－１２００シリーズは大流量用のドーム型減圧弁です。 ダイヤフラム制御により、高感度の圧力調整を行います。バランス型メインバルブを採用しておりますので瞬時圧力降下が少なく、またシート部への負荷を低…
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高感度タイプの減圧弁です！
２６－１５００シリーズはコンパクトサイズのガス用減圧弁です。 直径の大きいゴムダイヤフラムを採用しておりますので高感度、高精度の圧力調整が可能です。 この減圧弁は入口側４１．３ＭＰａ迄の圧力を、出…
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テスコム社製 ベント付高感度減圧弁 26-1600 シリーズ
セルフベントタイプの高感度減圧弁です
２６－１６００シリーズは末端の閉じられた配管系でも圧力を抜く事のできるセルフベント機構の付いた減圧弁です。 直径の大きいゴムダイヤフラムを採用しておりますので高感度、高精度の圧力調整が可能になります…
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標準でキャプチャーベント機構が内蔵された超高圧用の減圧弁です！ 高圧ガス認定品にも対応
２６－２０００シリーズは高圧の液体用、または気体用に設計されており、１０３．４MPaまでの圧力を最高６８．９MPaまでの複数範囲に減圧可能な超高圧用減圧弁です。標準で捕集用のキャプチャーベント機構が内…
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最高41.3PMa以下の6段階の調整圧力範囲に減圧が可能な高圧用減圧弁です。 高圧ガス認定品も対応可能！
４４－１１００シリーズは６８．９MPa迄の圧力を最高４１．３MPa以下、６段階の調整圧力範囲に減圧弁が可能な高圧減圧弁です。 1台の本体で内部部品を交換して容易に調節範囲を変更することもできます。 …
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バランス型バルブを採用した高圧・大容量用減圧弁です
４４－１３００シリーズは３１．０MPa迄の圧力を大流量で安全に１０．３MPa以下に減圧することが出来る減圧弁です。 センサー下部に仕切り版が内蔵されておりハンチングが起きにくく、バランス型のメインバ…
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テスコム社製 大流量/低圧用減圧弁 44-1500 シリーズ
コンパクトな大流量減圧弁で、 標準でキャプチャーベント付です！
４４－１５００シリーズは大流量、低圧用の減圧弁になります。 バランス型バルブ設計により安定した出口圧力と大きなセンサーによって正確な圧力調整が可能になります。 標準で捕集用のキャプチャーベント機能…
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コンパクトな高圧調整用の減圧弁です！
４４－１８００シリーズはコンパクトで経済的な高圧用の減圧弁です。 ピストン式のセンサーによる圧力制御は41.3MPaの入口圧力を安全・確実に0.34〜17.2MPaに調圧します。 【特徴】…
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テスコム社製 メタルダイヤフラム減圧弁 44-2200シリーズ
コンパクトで低価格の減圧弁！ 腐食性ガスにも対応した材質が選べます。 高圧ガス認定品にも対応
４４－２２００シリーズは高純度流体用のコンパクトで低価格の減圧弁で、腐食性、非腐食性のガス又は液の調整に幅広くご使用いただけます。本体材質は３１６ステンレス、真鍮、ハステロイ、モネルの４種類があり、用…
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高感度なメタルダイヤフラムを使用した減圧弁 44-2600シリーズ 安定した制御圧力を実現 高純度ガスでも使用可能
■メタルダイヤフラムのため、高純度で使用可能 ■安定した制御圧力を実現
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テスコム社製 大流量ダイヤフラム減圧弁 44-3200シリーズ
大流量タイプの減圧弁です。 標準ＣＶ値は１．０あり、メタルダイヤフラムにより高感度、高性能な制御が可能です。
44-3200シリーズは高純度ガス系でパージラインの様な大流量を必要とする場合などに最適な減圧弁です。大型のメインバルブを使用しており、CV値は1.0あります。入口側圧力が高圧のタイプでは圧力変動を抑…
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二次側の変動率０．０４％！ 安定した制御が可能な二段減圧弁です。 コンパクトながら高精度な圧力制御を実現。
44-3400シリーズは、入口圧力の変動に対し安定した二次圧力が得られるように設計された二段式の減圧弁です。入口圧に対する二次圧の変動率は０．０４％。 本体材質が316ステンレス製の製品は接ガス部材…
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大流量・ドームロード型 ハイフロー 44-4000 シリーズ
大流量・ドームロード型 ハイフロー 44-4000 シリーズ
最大入口圧力 41.38MPa / 出口圧力 0.34-10.34MPa！ ■バイアス圧力レンジ調節可 ■セルフベント(キャプチャー)
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高圧用/ドームロード型 ハイフロー 44-4200 シリーズ
最大入口側圧力41.38MPa/最大出口側圧力範囲34.49MPa！ 大流量減圧弁44-4200 シリーズ
■真鍮製またはステンレス製から選択可能 ■ピストン式センサーとバランス型メインバルブを採用
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負圧制御が可能な絶対圧減圧弁でダイヤフラム径の大きな高感度タイプです！
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出…
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陽圧の入口圧を真空から陽圧に減圧調整が可能！
コンパクトに設計された減圧弁
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