卓上型ランプ加熱装置 MILA-5050Z
加熱炉、チャンバ、温度制御器を一体化したコンパクトな卓上型ランプ加熱装置で、50mm角試料までの熱処理を実現!
本装置は、試料寸法50mm 角までの熱処理を可能とした卓上型ランプ加熱装置です。試料寸法20mm 角までの加熱装置として、卓上型ランプ加熱装置MILA-5000 シリーズを発売以来、多くのお客様にご…
プログラム温度コントローラー TPC-5000Zシリーズ
高速昇温時の速いレスポンスが要求される赤外線ゴールドイメージ炉はもとより低速昇温炉用にも対応できるプログラム温度制御器です。
高速加熱に精度よく対応可能な温調器。 高機能・高性能をコンパクトにパッケージし、豊富なアクセサリーを揃えて低価格でお応えします。
スポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉 MIROシリーズ
スポット集光で超高温熱処理。
回転楕円反射面をもち、シングル又はダブルタイプのチャンバと組合せることにより、極めて高い反射効率を実現したコンパクトなスポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉です。焦点を合わせることにより1800℃まで…
赤外線ゴールドイメージ炉 RHL-E/VHT/Pシリーズ
赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
大小様々な対象物の加熱で研究開発や生産装置、さまざまな分野でご利用いただいてます。
卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000Zシリーズ
半導体製造プロセスは高密度、微細化の進展によりRTPが重要な加熱技術として注目されています。
MILA-5000シリーズは赤外線ゴールドイメージ炉の特長である高速加熱・冷却、クリーン加熱が行なえます。自在な雰囲気下で加熱する事が可能で温度コントローラと雰囲気可変チャンバが一体化した小型で低価格…
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