プラズマ吸収プローブ法を用いたプラズマ電子密度計測システムです。
プラズマ電子密度計測システム『PAPsys-SA』
【デモ機あり!】プロセスプラズマでも影響を受けずに、プラズマの電子密度を計測できるシステム!
本製品は、名古屋大学・菅井研究室とのプラズマ吸収プローブ法(Plasma-Absorbed-Probe)に関する共同研究成果として開発された製品です。 プラズマは、自己の電子密度に応じて特定の周…
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