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『MiR100/MiR250/MiR600/MiR1350』
施設内の輸送作業に革新をもたらす!自律走行型(協働)搬送ロボットのご紹介です
『MiR100/MiR250/MiR600/MiR1350』は、安全・高精度な自律搬送を実現した自律走行型協働搬送ロボットです。 3Dカメラとレーザーセンサー(Sick社製Lidar2ヶ所)搭載にて…
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ウェハ膜厚・表面粗さ測定機 SemDex A32, M1, M2
完全自動化!マルチセンサ技術を備えた高速ウエハ計測・選別システムをご紹介します
『SemDex A32』は、ウェハ単層及び多層厚さ・反り・歪み・粗さの 完全自動化・高精度測定機です。 基板層の厚さ・TTV・積層ウエハの全体厚さ・ウエハ反り・歪み・平坦性は、 単一の測定ラ…
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