ウェハチップ目視検査装置英光産業

外観目視検査作業者の負担軽減と作業効率アップに貢献

充実したデータファイリング機能により
複数作業者の検査判定基準の統一化が可能になった、ウェハチップ目視検査装置

基本情報ウェハチップ目視検査装置

【特徴】
○特殊高解像ズームレンズ使用による鮮明カラー画像の
　モニター目視によるウェハー及びエキスパンダリング上のチップ外観目視検査装置
○将来的に外観自動検査装置への機能アップも可能
○ウェハサイズ：2.4.インチ対応（エキスパンダリング対応）
○カラー130万画像カメラ採用：分解能1.5μm
○APOズーム光学系採用：視野可変2mm〜
○1画面上の複数チップ一括検査
○不良項目分類・画像ファイリング可能
○不良チップ自動バッドマーキング機能付
○検査機能
　欠け/汚れ、異物/クラック/傷/パターン異常/色ムラ

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。