株式会社ティ・ディ・シー精密ステージ・テーブル

最終更新日：2016-08-18 09:56:14.0
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平面度0.001mm以下の精度を実現（φ12インチの場合）

弊社（株式会社ティ・ディ・シー）は、各種素材に対する超精密鏡面研磨加工、その他精密機械加工全般を得意とします。
材質、サイズ、加工精度、その他製品仕様についてお客様のご要望にお応えいたします。お気軽にお問い合わせください。
その他弊社加工内容、実績についてはホームページをご参照ください（　http://www.mirror-polish.com/　）。

基本情報精密ステージ・テーブル

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成
2.使用中のステージの磨耗修正

φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。

材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。
ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。

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用途／実績例	精密測定器ステージ真空吸着テーブル CMP装置用研磨テーブルその他　治具、Vブロックなど