鏡面平面基板の表面状態が即座に検査可能
古くから伝わる魔鏡の原理を応用し、超高感度にて、鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置
基本情報表面欠陥検査装置 魔鏡
【特徴】
○検査は、非接触・非破壊で行うことができ、光学系はメンテナンスフリー
○オプションにて、表面欠陥の自動判定画像処理
自動搬送機構・イメージ記憶・イメージプリント等の機能を追加することが可能
○総ての表面状態を瞬時に表現
○光学系はクラス1に対応
○検査内容により、検出感度変更が可能
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | YIS−100SP 〜 300SP |
用途/実績例 | 【用途】 ○鏡面ウエハの表面検査 ○スリップラインの検査 ○ガラス基板の検査 ○その他の鏡面基板の検査 |
取扱企業表面欠陥検査装置 魔鏡
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