ＭＢＥ装置のＫセルを自動運転で開閉するシステムです
装置本体システムから独立して制御を行い（本体異常警報等の取り込みは御相談に応じます）、自動成長中に手動の開閉操作が可能です。シャッタ開閉動作状況の確認が容易に行えます。
基本情報ミューコム Ｋセル自動シャッタプログラム
【特徴】
○装置本体システムから独立して制御
○自動成長中に手動の開閉操作が可能
○シャッタ開閉動作状況の確認が容易
●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体製造工程における管理 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。 |
取扱企業ミューコム Ｋセル自動シャッタプログラム
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