ポリシリコン洗浄装置セファテクノロジー

チップからインゴットまで

チップからインゴットまで１台で複数種のワーク処理が可能

関連リンク - http://www.sefatec.com/hp/seihin.html

基本情報ポリシリコン洗浄装置

【特長】
○オートハンドラーによるロット同時処理
○処理量：～20T／日　処理可能
○各槽温度コントロール機能付き
○BSH乾燥機によるワーク及びバスケットの完全乾燥
○処理槽サイド排気によるNOXガス滞留極小抑制
○様々な追加機能をご用意

●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください。

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