株式会社テクノメイト 組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
- 最終更新日：2022-12-14 16:13:06.0
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『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して
膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。
昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や
カルレッツ（KLZ仕様）を採用しており、2000年から約20年におよぶ
市場供給を誇ります。
【特長】
■コンパクト設計で組込みに好適
■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能
■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A）
■昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や
カルレッツ（KLZ仕様）を採用
■2000年から約20年におよぶ市場供給
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
【製品仕様】
■サイズ
・SSBL（-20A、-30A、-37.5A共通）：W123×H116×D296.5mm
■吐出圧力
・SSBL-20A：0.98～9.8MPa
・SSBL-30A：1.47～14.7MPa
・SSBL-37.5A：1.76～17.6MPa
■吐出流量
・SSBL-20A: 1.13L/min
・SSBL-30A : 0.71L/min
・SSBL-37.5A : 0.58L/min
■駆動エア圧：0.05～0.5MPa
■適応流体
FKM仕様：純水、IPA
KLZ仕様：NMP
■エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
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| 価格情報 |
- お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SSBL-XXシリーズ |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体洗浄装置（ジェット洗浄） ■スクラバー装置 ■リフトオフ装置 ■研磨パッドのドレッシング など |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| SSBL-20A-FKM | |
| SSBL-20A-KLZ | |
| SSBL-30A-FKM | |
| SSBL-30A-KLZ | |
| SSBL-37.5A-FKM | |
| SSBL-37.5A-KLZ |
カタログ組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
取扱企業組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
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各種機器・装置の設計・製作 【取扱い商品】 昇圧ポンプユニット 高圧ポンプユニット 真空ポンプユニット 冷却装置 加熱装置 恒温循環装置 薬液供給装置 各種試験装置 ３Ｄメガネ洗浄機 殺菌装置 排気装置 燃料電池関連
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