千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430 千住金属工業

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。

関連リンク - http://www.senju-m.co.jp/index.html

基本情報千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

【特徴】
○炉内清浄度クラス1000を実現
（ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式）
○炉内酸素濃度100ppm以下
（気密性に優れたチャンパー構造）
○フラックスヒューム回収装置
炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去
○自在性の高い温度設定
ヒーターは搬送方向に4ゾーン、各ｿﾞｰﾝが8ブロック分割制御されており、自在性の高い温度設定が可能（32面制御）
○搬送機構
発塵しないウォーキングビーム方式を採用し、タクト運転により、各ゾーンで安定した加熱
○輻射加熱
強制対流を必要としない遠赤外線・輻射加熱方式を採用しているため、熱風によるバンプ表面仕上がり不良を抑制
○鉛フリーはんだ・高温はんだにも対応

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