デモ機貸出中！超音波専業メーカーの半導体の薬液向き非接触流量計。高価な液体もいっさい無駄に致しません
超音波気体流量計で長年培ってきた測定技術を駆使して開発した、
センサクランプオン型の超音波液体流量計です。配管外壁から管内部に超音波を発信させ
液体の速度によってセンサー間の超音波伝搬時間が変化することを利用して
流量に換算します。センサは液体に非接触です。
【特長】
・微少流量の測定が可能
・1秒間に300回測定で高応答を実現
・センサ部分が流体に非接触構造（ストレートチューブ）採用
・広いレンジアビリティー
・優れた応答性
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基本情報超音波微少液体流量計 μLF シリーズ
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| 用途／実績例 | IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微小領域の流量管理に コスト管理・品質管理に |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| μLF-300S | 検知部分離型 |
カタログ超音波微少液体流量計 μLF シリーズ
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