ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社 真空吸込フィルタ RXシリーズ 逆洗パルス技術
- 最終更新日:2018-03-26 15:15:08.0
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太陽電池及び半導体向け真空フィルタ
ソルバーグのRXシリーズは、実証された逆洗パルス技術を内蔵しており、メンテナンスの間隔を伸ばして運転時間を延長し、エレメントの交換回数を減らすことにより、メンテナンスコストが大幅に節約できる結果につながります。
基本情報真空吸込フィルタ RXシリーズ 逆洗パルス技術
【特徴】
○逆洗パルス技術を組み込むことにより、メンテナンスの間隔が大幅に延び、フィルタの寿命を延長させます。
○PTFEメディア:0.3ミクロンで99.97%のろ過精度
連続耐熱温度 135℃
○Dutch Twillメディア:公称粒径10ミクロン
連続耐熱温度 205℃
○互換性のあるエレメントは容易に交換できます。
○一体化されたサポートスタンドにはガイドが付いており、メンテナンスを簡素化します。
○炭素鋼またはステンレス鋼構造
○大きな回収容器はメンテナンスの間隔を延長させます。
○高コンダクタンス設計
○リーク量:最小標準1×10(-7)mbar L/sec.
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用途/実績例 | ○単結晶/多結晶製造 ○真空蒸着及び積層 ○ドライ式真空ポンプ・油回転式真空ポンプ及びシステム ○有害粒子からのポンプの保護(SiOx) ○粒子が潤滑油を汚染するのを防止 ○逆流のリスク回避 ○ドライ式ポンプにおける粒子の蓄積と成長の防止 ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
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