半導体業界 （外観検査）
XYθステージにセットされたウエハチップをラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。
基本情報ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000
【特徴】
○複数チップを同時検査が可能
○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細な設定が可能
○品種切り替えはソフトで対応可能
○検査結果はファイルに出力可能（MAPファイル）
○MAPファイル入力可能（検査結果に書き換え出力）
○顕微鏡対物レンズを使用していることで倍率変更が可能
※可能倍率2x～100x
●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
| 価格情報 | ●お気軽にお問い合わせください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※●お気軽にお問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○検査項目 ・変色 ・異物 ・キズ ・割れ ・カケ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。 |
取扱企業ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000
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