サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅヒロテック

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス最高300℃まで使用できる業界初の高温対応製品

Accubath®　Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。
このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。
そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。
Ａｃｃｕｂａｔｈ®　Ｘｅシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。

関連リンク - http://hiro-tec.com/imtec/pdf/Xe-Series.pdf

基本情報サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ

Ａccubath Xeタンク接液部は全て高純度の石英で構成されており、タンク内ではテフロン継手やセンサ類も露出していません。さらに、凝縮コイル、自動開閉蓋も石英で製作されています。
さらに信頼性向上のため、ＩＭＴＥＣ社の特許技術であるＡｑｕａｓｅａｌ®を改良し、最も重要なシールの損傷を防止するためヒーターコンポーネントから周囲への断熱効果を高めました。
またハウジングも耐熱性・耐薬品性のより高いＨａｌａｒ®を使用しており、十分な断熱対策が施されています。
更に液温が下がるのを待つことなく、超高温のまま排液するための石英アスピレータを採用しました。排液された薬液はプロセス槽の下に設置した冷却コイル付のクールダウンタンクに移され、そこで冷却されます。
また万一のタンク破損に備え、タンク全容量を貯留可能な予備タンクも設置することができます。

価格情報	別途ご相談ください。別途ご相談ください。
納期	お問い合わせください ※別途ご相談ください。
型番・ブランド名	ＩＭＴＥＣ　ＡＣＣＵＬＩＮＥ社製　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ－Ｓｅｒｉｅｓ
用途／実績例	サファイア基板/ＧａＮのウェットエッチングやシリコンナイトライドのエッチング時間短縮等