アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!

エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか各方面にご利用いただいているポンプです。

基本情報クライオポンプ総合カタログ

【特長】
◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ
◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ
◆極高真空用にベーカブルタイプ
◆分析機器、実験装置などのために防振型
◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステム
◆クライオポンプ群の集中管理・制御システム「UCIS/ユーシス」

さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の
排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションをそろえております。

※詳細はお問い合わせください。

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用途/実績例 ※詳細はお問い合わせください。

取扱企業クライオポンプ総合カタログ

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アルバック・クライオ株式会社

ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界及び大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネントの開発・製造・販売・カスタマーサポ-トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。

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