株式会社ベテル ハドソン研究所 熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ/TM3
- 最終更新日：2011-11-10 17:13:49.0
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フィラー、セラミックス、絶縁薄膜、半導体薄膜等、薄膜・微小領域の熱伝導評価に！！
サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。 従来の熱物性測定装置では難しいとされていましたミクロンオーダーでの熱物性値分布も測定出来ます。 非接触かつ高分解能で熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。熱浸透率が測定できます。好条件であれば熱伝導率も直接測定可能。
基本情報熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ/TM3
【特徴】
○検出光スポット径３μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定（点・線・面測定）が可能です。
○深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
基板上の試料も測定出来ます。
○レーザ光による非接触測定です。
薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。
●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
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| 型番・ブランド名 | TM3 |
| 用途／実績例 | 【用途】 SiC, GaN, SiO2, DLc, Low-k膜, 各種フィラー, ポリイミド, 各種金属他 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。 |
カタログ熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ/TM3
取扱企業熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ/TM3
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○熱物性計測装置 開発・製造・販売 〇熱物性計測装置 レンタルサービス ○受託測定サービス 〇計測技術セミナー主催 〇熱物性計測技術に関連するコンサル事業
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