半導体ウエハ搬送容器　SHIPPING BOX 三甲

半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送！

半導体ウエハ搬送容器　SHIPPING BOXは、半導体技術の基盤であるウエハ（φ300mm～φ50mm）を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。変動の激しいＩＴ業界でＱＣＤともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。
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基本情報半導体ウエハ搬送容器　SHIPPING BOX

【特徴】
○低有機汚染性
→ウエハを化学汚染する要因は大別すると３つあります。
　（1）有機汚染（2）金属汚染（3）無機分子汚染
→これらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定
→ウエハをクリーンに搬送することが可能
○作業性
→視認性：Σ-series全機種において、カバーに透明素材を採用
→容器内部の視認が可能、ウエハの有無や枚数確認等が容易
○最適シール性／テープレス
→ガスケットにより容器に気密性能
→搬送梱包の際、容器開口部へのテープによるシーリングは必要なし
○ＥＳＤ（静電気破壊）対策
→Σ－seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ－seriesをラインアップ
○リサイクル性
→Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成
→容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能

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用途／実績例	【シリーズ】 ○Σ-Series 実績のあるαシリーズをベースに更に性能を付加し、低有機汚染性能を追求したモデルです。 ○SS-Series ウエハごとにパッケージングし、デリケートなウエハを安全に輸送できます。サンプルキープ用としても活躍します。 ○CB-Series カバーとボトムのシンプル構造。カバーにウエハの跳ね上がりを防止する羽根形状を設けシンプルな構造でありながらウエハを安全、確実に輸送します。 ○Ω-Series(帯電防止タイプ・受注生産品) Σシリーズをベースに帯電防止性能を付加したモデルで、パターン形成したウエハを安全に輸送します。 ○α-Series(受注生産品) 衝撃に強く、薄物ウエハも安全に輸送します。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。