FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500 日本セミラボ

FastGate　インライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置

電極形成が不要な上、ウエハーにダメージを与えず、コンタミネーションも残さないことからインラインで使用出来る装置です。

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基本情報FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500

ＵＳＬ（極浅層<40nm）のイオン注入、低ドース・イオン注入のドース量モニタリング、極薄酸化膜（<20Å）の電気的膜厚測定 SiON 膜，High k膜の誘電率測定、Epi の抵抗率測定などが可能です。

主な測定・評価項目
・電気的膜厚（CET/EOT)
・フラットバンド電圧（VFB)
・界面準位等（Dit)の測定
・リークIV測定
・USJ（40nm以下）の低ドーズイオン注入量モニタリング
・Epi抵抗率測定

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	ECV-2500
用途／実績例	ＵＳＬ（極浅層<40nm）のイオン注入、低ドース・イオン注入のドース量モニタリング、極薄酸化膜（<20Å）の電気的膜厚測定 SiON 膜，High k膜の誘電率測定、Epi の抵抗率測定などが可能です。主な測定・評価項目・電気的膜厚（CET/EOT) ・フラットバンド電圧（VFB) ・界面準位等（Dit)の測定・リークIV測定・USJ（40nm以下）の低ドーズイオン注入量モニタリング・Epi抵抗率測定

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取扱企業FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。