レイリサーチ株式会社 ウエハ検査システム

基本情報ウエハ検査システム

太陽電池用ウエハの「IR検査」・「表面/裏面検査」・「厚み検査(簡易Bow/Warp)」・「抵抗値測定」と4工程の検査を行う装置です。
ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。
ローダは、カセット方式またはスタック方式に対応します。
アンローダは、検査結果により13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。
オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
【特徴】
・ウエハを1秒/枚と高速検査することが可能です。
・カセット方式またはスタック方式に対応します。
・コストパフォーマンスに優れたシステムです。

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取扱企業ウエハ検査システム

レイリサーチ株式会社

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