研究室向け簡易マスク作製機 MM605は1/5縮小露光フォトマスク作製機です。各種半導体・MEMS微小構造物製作のためにはフォトマスクが欠かせません。特に大学・研究所においては多種のマスクが必要となります。本装置は研究室レベルで簡単にフォトマスクを作製するための装置です。お手持ちのグラフィックソフトやCADシステム等でプリントした図面をOHPフイルムにコピーしマスク原版として使用します。
MM605では特別に設計された光学系でマスク原版を高精度に1/5縮小投影し、エマルジョンマスクを作ります。今まで外部委託に頼っていたマスク製作をお手元で手軽に安価で作る事ができます。改変の多い研究には特にお勧めです。デザインも縦型スタイルで設置スペースをとりません。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報研究室向け簡易マスク作製機 MM605
【特徴】
○研究室レベルで簡単にフォトマスクを作製するための装置
○お手持ちのグラフィックソフトやCADシステム等でプリントした図面を
OHPフイルムにコピーしマスク原版として使用
○マスク原版を高精度に1/5縮小投影し、エマルジョンマスクを作る
○外部委託に頼っていたマスク製作をお手元で手軽に安価で作る事が可能
○改変の多い研究には特にお勧め
○デザインも縦型スタイルで設置スペースをとらない
【主な仕様】
［縮小レンズ部］
○倍率：0.2倍
○撮像寸法：59.4×59.4mm
○視野寸法：297×297mm
○物体距離：1195.5mm
○物体問屋巨離：1455.5mm
○実行F値：（像側）5.487 （物側）27.317
○分解能（入＝550nm）：（像側）3.017μm （物側）15.024μm
○周辺光量：95.19％
○TV dist：－0.0263％
［照明部］
○蛍光灯：15W 5本
○光調整：可
○光強度：（max）1215Lx～（min）749Lx
○光分布：1.004％
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カタログ研究室向け簡易マスク作製機 MM605
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