Temposonics 非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度

Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。

【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】
センシングロッド部(最大20m)を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置(分解能1μm)を複数個所(最大30箇所)で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。

基本情報非接触リニアポジションセンサー

【特長】
1. 高分解能1μm +高精度位置検出
2. 高速応答性能 10kHzを実現
3. ノイズリダクション
4. 耐振動 30G
5. 非接触で摩擦がなく、水、油、埃に強い
6. アブソリュート(絶対位置計測、原点復帰不要)

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型番・ブランド名 Temposonics
用途/実績例 半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置

カタログ非接触リニアポジションセンサー

取扱企業非接触リニアポジションセンサー

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Temposonics

Temposonics(R)磁歪式直線変位センサ、移動速度計測センサ、油圧シリンダ向け絶対位置変位センサ、Level Plus(R)磁歪式液面計の販売をしております。 Temposonics リニアスケールは、SSI、CANbus、CANOpen、Profibus、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP等の先進的なインターフェースを備えており、その他のオプションとして、油圧用耐圧ステンレス鋼ロッド、アルミ製プロファイル、フレキシブルロッド、車載シリンダー用耐圧ロッド等、様々なニーズに対応した革新的なソリューションをご提供しています。 また、ケミカル、薬品、バイオ、ガス、石油化学産業に最適な、液面計 Level Plus(R)も提供しており、境界面センサ、液面センサとしてだけではなく、温度センサー、タンク容量の自動計測機能も備え、且つATEX、IECEx、FM、NEPSI、TIIS、KC等の防爆対応、衛生基準3Aにも対応可能な為、1本のセンサで、トータルなソリューションを提供できます。

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