真空度10－6［Pa］に達し、ケミ カルコンタミネーション（有機 物や水分等のガス状汚染）を 嫌う箇所に適しています。
油を使えない真空環境下（～10-6［Pa］）での仕様に最適
新開発：固体潤滑Ｓ膜を使用
低発塵・低アウトガス
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