株式会社MSAファクトリー ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
- 最終更新日：2013-02-05 16:31:57.0
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サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。
MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
【仕様】
○温度制御範囲：室温～300℃
○チャック面サイズ：6”サイズ
○温度精度：±1.0%
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| 価格情報 |
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|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ウエハホットチャック |
カタログウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
取扱企業ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
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数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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