ナガセテクノエンジニアリング株式会社クライオポンプ

最終更新日：2015-06-18 13:26:37.0
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よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

必要不可欠な「超高真空」
半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。

高い排気速度とクリーンな真空品質
豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。

関連リンク - http://www.nagase-nte.co.jp/product/cryopump.html

基本情報クライオポンプ

特長
逆拡散のないクリーンな超高真空
クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。
スピーディーな排気で生産性を向上
到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。
オールマイティにすべての気体に対応
極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要）
タテ、ヨコ取付け方向は自在
取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。

価格情報	お気軽にお問合せ下さい
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	クライオポンプ
用途／実績例	半導体製造における応用分野スパッタリング装置／イオン注入装置／蒸着装置／エッチング装置／CVD等物性・物理研究における応用分野加速器／核融合装置／電子顕微鏡／分子線エピタキシャル装置（MBE）／スペースチャンバー／表面分析装置／イオンビーム測定装置

ラインナップ

型番	概要
MARATHON CP-8 CRYOPUMP	取付フランジは、ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
MARATHON　CP-8LP CRYOPUMP	取付フランジは、ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
MARATHON CP-250LP CRYOPUMP	オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
MARATHON CP-12 CRYOPUMP	取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
MARATHON CP-16 CRYOPUMP	取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
MARATHON CP-20 CRYOPUMP	取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
Zephyr　空冷式圧縮機
HC-4E1 水冷式圧縮機
HC-8E4 水冷式圧縮機
F-70L/H 水冷式圧縮機
CSW-61C/D 水冷式圧縮機

お問い合わせ

取扱企業クライオポンプ

ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス