マック産業機器株式会社 吸着テーブル ポーラスカーボンチャック
- 最終更新日:2013-05-28 18:38:04.0
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ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適
「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター、スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置に適しています。
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基本情報吸着テーブル ポーラスカーボンチャック
【特徴】
○多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能
○フィルム等薄い材質でも吸着可能
○耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着が可能
○導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能
○各種サイズ、形状に対応可能
○ワーク:200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルム
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用途/実績例 | 【用途】 ○ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター ○スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 |
カタログ吸着テーブル ポーラスカーボンチャック
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