分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-105 ファイブラボ

多層膜など多くのパラメーターが一度に解析！小型・高速分光エリプソメータ

分光エリプソメータMASS-105は白色光を用いたエリプソメータです。レザータイプに比べ、多層膜などの多くのパラメーター（膜厚、屈折率、吸収係数）が一度に解析できます。分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。また、分光解析ソフト“SCOUT”を標準装備し､ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップし、研究用としても対応しています。
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関連リンク - http://www.5lab.co.jp/MASS.html

基本情報分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-105

【特徴】
○高精度測定I
→測定方式に回転位相子法を採用
→測定値Δ（位相差）の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現
○高精度測定II
→位相板は専用の広帯域位相板を使用
→ファイブラボ独自のホールモータによる光学素子の回転により
　高い再現性の測定が出来る
○波長分解能
→モノクロメータは2048分割CCD採用のマルチチャンネル対応を使用
○解析力
→分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備
○再現性
→光再現性測定を実現
○信頼性
→校正時、NIST基準数種の膜厚のSiO2/SIサンプル
→2種のガラス基板の光学定数測定

【仕様】
○測定方式：回転位相子法（RQ法）
○光源：150W Ha ランプ
○ビーム経：約φ1～5mm
○入射角：約70・60・50 度手動可変
○波長領域：360～900nm
○波長分解能：1.5nm
○寸法：300W×400D×450H mm

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型番・ブランド名	MASS-105
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