ナガセテクノエンジニアリング株式会社 クライオポンプ MARATHON CP-12 CRYOPUMP

先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。

MARATHON CP-12 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報クライオポンプ MARATHON CP-12 CRYOPUMP

【仕様】
○窒素(L/s) 3,600
○水(L/s) 9,560
○アルゴン(L/s) 3,100
○水素(L/s) 7,300
○アルゴンスループット(Torr - L/s) 12.6
○アルゴン排気容量(Std L) 2,000
○水素排気容量(Std L) 50
○クロスオーバー(Torr - L) 650
○クールダウンタイム(分) 90
○ポンプユニット重量(kg) 41
○H寸法(mm) 600
○メンテナンスサイクル(時間) 13,000

【納入範囲(標準構成)】
○CP-12クライオポンプ
○ヘリウム圧縮機(HC-8E4 or F-70L/H)
○3Mフレキシブルガスホース
○3Mコールドヘッドケーブル
○ガスホース接続用レンチキット

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取扱企業クライオポンプ MARATHON CP-12 CRYOPUMP

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ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

1.低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス 2.低温関連機器の設計・開発、製造及び販売 3.半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス 4.外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス 5.その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス 6.農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス

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