実験用小型スパッタリング装置富士アールアンドディー

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。
小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。

～特徴～
・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。
・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブ　で仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。
・ターゲットは３種まで取付可能です。
・基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、
　成膜します。

関連リンク - http://www.fuji-rd.com/

基本情報実験用小型スパッタリング装置

メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。
スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブで仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。
ターゲットは３種まで取付可能です。基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、成膜します。

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用途／実績例	・金・白金・チタンの成膜

取扱企業実験用小型スパッタリング装置

株式会社富士アールアンドディー

▼真空装置・パーツ・チャンバー制作・排気装置・蒸着装置・スパッタリング装置等・真空熱処理炉・含浸装置・脱ガス装置等・制御盤、電気、制御系の製作、改造 ▼ラップ盤・ポリッシュ盤の改造、オーバーホール・特殊仕様機制作・両面機、片面機オーバーホール・改造工事（定寸、リニア加圧等） ▼研究開発用機械・パーツ・特殊加工機・特殊部品・各種金属溶接、加工その他、多種の案件に柔軟に対応致します。