当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。
《特長》
〇従来の半導体設備で転用可能
〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能
〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能
〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能
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基本情報静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
《物性》
＜品番：STSI-PEN#25＞
ベースフィルム：PEN
使用可能温度180℃以下
表面抵抗率（基材面）：1.3×10^5Ω/□ ※高抵抗計
表面抵抗率（粘着面）：＞1.0×10^13Ω/□ ※高抵抗計
減衰時間：＜0.3sec. ※FTM 101C-4046（23℃×15%RH）
粘着力（対ガラス）：0.18N/25mm ※170° 剥離試験
アウトガス：34μg/g ※170℃, 10min
全光線透過率：75% ※JIS K 7105
＜STSI-PI#25＞
ベースフィルム：PI
使用可能温度：300℃以下
表面抵抗率（基材面）：1.3×10^5Ω/□ ※高抵抗計
表面抵抗率（粘着面）：＞1.0×10^13Ω/□ ※高抵抗計
減衰時間：＜0.3sec. ※FTM 101C-4046（23℃×15%RH）
粘着力（対ガラス）：0.18N/25mm ※170° 剥離試験
アウトガス：43μg/g ※170℃, 10min
全光線透過率：47% ※JIS K 7105
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
| 型番・ブランド名 | STチャックテープ |
| 用途／実績例 | CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハ保護用。静電チャック用途 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| STSI-PEN#25 | ベースフィルム：PEN |
| STSI-PI#25 | ベースフィルム：PI |
カタログ静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
取扱企業静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
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産業資材事業（工業資材、断熱資材、ウレタン素材など） プラスチック事業（フィルム、農業資材、車輌内装用資材、床材・壁材など） シューズ事業
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