株式会社富士アールアンドディー 500mm幅ロールコーター(ウェブコーター)

500mm幅ロールコーター(ウェブコーター) http://www.ipros.jp/public/product/image/96a/2000178708/IPROS9179993026734804511.jpg 【到達圧力】   ・10-5Paオーダー 【基材収容サイズ】 500mm巾×200m(100μmの場合) 最大外径φ250 【送り速度】 0.01~10m/min 程度(CW、CCW可能)最低設定速度0.01m/min 【テンションコントロール】 巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける。 トルクはフィードバック制御にて行う。 10N~150N/m 巾に対する値を自動計算し、設定。 【真空槽系】 材質:SUS304 サイズ:W700×H1030×D800前面開閉扉 【基材送り機構】 回転送度可変用サーボモーター 巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター          真空シール回転導入部(磁気シール式)     【排気系】 ターボ分子ポンプ 2400L/sec(N2) ロータリーポンプ 1200L/min    【ガス導入系】 マスフローコントローラー 0₂、Ar、N₂                【操作】 操作、設定はタッチパネルで行う 【装置寸法】 専有面積 約5000W×5000D×2000H 株式会社富士アールアンドディー 機械部品 > 真空機器 > 真空機器
R&D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。

研究開発向けのロールコーター(ウェブコーター)です。
PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。
巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。
搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。
ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。
ターゲットの交換も簡単にできる設計です。

詳細はお気軽にお問合せ下さい。

基本情報500mm幅ロールコーター(ウェブコーター)

【到達圧力】  
・10-5Paオーダー
【基材収容サイズ】
500mm巾×200m(100μmの場合) 最大外径φ250
【送り速度】
0.01~10m/min 程度(CW、CCW可能)最低設定速度0.01m/min
【テンションコントロール】
巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける。
トルクはフィードバック制御にて行う。
10N~150N/m 巾に対する値を自動計算し、設定。
【真空槽系】
材質:SUS304 サイズ:W700×H1030×D800前面開閉扉
【基材送り機構】
回転送度可変用サーボモーター
巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター         
真空シール回転導入部(磁気シール式)    
【排気系】
ターボ分子ポンプ 2400L/sec(N2)
ロータリーポンプ 1200L/min   
【ガス導入系】
マスフローコントローラー 0₂、Ar、N₂               
【操作】
操作、設定はタッチパネルで行う
【装置寸法】
専有面積 約5000W×5000D×2000H

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 研究用装置として納入実績有

取扱企業500mm幅ロールコーター(ウェブコーター)

ロール.JPG

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▼真空装置・パーツ ・チャンバー制作 ・排気装置・蒸着装置・スパッタリング装置等 ・真空熱処理炉・含浸装置・脱ガス装置等 ・制御盤、電気、制御系の製作、改造 ▼ラップ盤・ポリッシュ盤の改造、オーバーホール ・特殊仕様機制作 ・両面機、片面機オーバーホール ・改造工事(定寸、リニア加圧等) ▼研究開発用機械・パーツ ・特殊加工機 ・特殊部品 ・各種金属溶接、加工 その他、多種の案件に柔軟に対応致します。

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