株式会社富士アールアンドディー 500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）
- 最終更新日：2014-06-12 08:55:04.0
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研究開発向けのロールコーター（ウェブコーター）です。
PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。
巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。
搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。
ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。
ターゲットの交換も簡単にできる設計です。
詳細はお気軽にお問合せ下さい。
基本情報500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）
【到達圧力】
・10－5Ｐａオーダー
【基材収容サイズ】
500mm巾×200m（100μmの場合） 最大外径φ250
【送り速度】
0.01～10ｍ/min 程度（CW、CCW可能）最低設定速度0.01m/min
【テンションコントロール】
巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける。
トルクはフィードバック制御にて行う。
10N～150N/m 巾に対する値を自動計算し、設定。
【真空槽系】
材質：SUS304 サイズ：W700×H1030×D800前面開閉扉
【基材送り機構】
回転送度可変用サーボモーター
巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター
真空シール回転導入部（磁気シール式）
【排気系】
ターボ分子ポンプ 2400Ｌ／sec（N2）
ロータリーポンプ 1200Ｌ／min
【ガス導入系】
マスフローコントローラー 0₂、Ar、N₂
【操作】
操作、設定はタッチパネルで行う
【装置寸法】
専有面積 約5000W×5000D×2000H
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 研究用装置として納入実績有 |
取扱企業500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）
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▼真空装置・パーツ ・チャンバー制作 ・排気装置・蒸着装置・スパッタリング装置等 ・真空熱処理炉・含浸装置・脱ガス装置等 ・制御盤、電気、制御系の製作、改造 ▼ラップ盤・ポリッシュ盤の改造、オーバーホール ・特殊仕様機制作 ・両面機、片面機オーバーホール ・改造工事（定寸、リニア加圧等） ▼研究開発用機械・パーツ ・特殊加工機 ・特殊部品 ・各種金属溶接、加工 その他、多種の案件に柔軟に対応致します。
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