大日商事株式会社 ウエハー非接触搬送 ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

2~12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。

ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。
搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。
本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。

【特徴】
○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択
○対応インチのガイドリングを変えれば2~12インチまで使用可能
○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化
○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応
○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報ウエハー非接触搬送 ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

【特徴】
○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、
 対応インチのガイドリングを変えれば2~12インチまで使用可能
 (使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更不可)
○ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、
 ウエハー縁を点で接触
○ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、
 目視による位置決めや吸引状態の確認が出来る

【オプション】
○専用スタンド
→6インチ~2インチのベルヌーイチャック用スタンド:コードNo.678
→12インチ/8インチのベルヌーイチャック用スタンド:コードNo.699
○プロトスキャリア用
○ソーラーパネル用

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カタログウエハー非接触搬送 ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

取扱企業ウエハー非接触搬送 ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

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