プラズマ常時監視システム「FS1000」東京電子交易

プラズマ異常放電の可視化と予知

（株）EM・Predix は，過去14 年間（それ以前にも本技術に直結する経験を重ねてきました）に亘り、様々な業界において、プラズマダメージおよび静電気障害に対する計測技術および対策技術を提案してまいりました。
この資料では，プラズマチャンバー内部で発生しナノ秒 (ns) で完結する異常放電から放射される電磁波を検出するプラズマ常時監視システムFS1000をご紹介いたします。

【特徴】
○チャンバー内全位置の放電を検出
○放電が放射する過渡電磁波を検出
○異常放電を検知・予知・制御

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関連リンク - http://www.tet.co.jp/index.html

基本情報プラズマ常時監視システム「FS1000」

【特徴】
○プラズマ異常放電の可視化と予知
○Townsend spark が放射する電磁波の検出
○リアルタイムモニタリングシステム

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取扱企業プラズマ常時監視システム「FS1000」

東京電子交易株式会社

・ESD試験器・CDM試験器・LATCH-UP試験器・TLP試験器・DCテスタ・ゲートリック（GL）テスタ・超高速ACパラメータテスタ・エレクトロ・マイグレーション試験装置・dv/dtテスタ・半導体メモリ・ソフトエラー評価装置・オープン/ショートテスタ・TLPテストシステム　Model　4002/4012 ・ウェーハ・プローブ　Model 45001WP ・高速・高電圧パルス発生器　Model 632 (50ps/2.5kV) ・大電力用同軸機器・GP-IB, RS-232, イーサネット制御スイッチ･モジュール・PXIスイッチ・モジュール・PXI計測モジュール・VXIスイッチ・モジュール・PCIスイッチ・モジュール