様々な製版マスクの検査・測長を1台で実現した、高速・高精度外観検査装置
☆メタルマスク外観検査装置☆
○特徴
1.様々な製版マスク(SMTメタルマスク・サスペンドメタルマスク・乳剤製 版マスク・バンプメタルマスク)の検査・測長機能。
2.各工程間の検査に対応するため、検査用マスターデータは、ガーバデー タに加えフィルム・硝子乾板からも生成可能。
3.ハイスピードカメラ：高速画像処理手法の採用による高速検査の実現。
4.画像検査に加え±10μ精度の測長機能を搭載。
5.主な検査項目
ピンホール・断線・ショート・パターンの異彩・乳剤のエグレ・サイズ 違い・形状違い・半透明の乳剤カスの残存・異物
基本情報メタルマスク外観検査装置
☆メタルマスク外観検査装置：SVM-600
○標準仕様
1.最大搭載マスク 仕様打合せ後対応可
2.最大マスク厚み 仕様打合せ後対応可
3.検査エリア 仕様打合せ後対応可
4.検査対象項目 パターン検査,ピンホール検査,異物検査
5.使用カメラ エリアセンサーカメラ×1～4台
高精度カメラ,ZOOM機能(高倍率/低倍率の切替)
6.分解能と精度 高倍率：分解能・2.325μ、精度・約±2.5μ
低倍率：分解能・4.5μ、精度・±5μ
7.照明 サイド照明
透過照明
8.駆動軸 XYZθ
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SVM-600 |
| 用途／実績例 | ○各種精密製版マスク ○各種精密パターン、グリーンシート、ビア検査 |
カタログメタルマスク外観検査装置
取扱企業メタルマスク外観検査装置
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