多くのお客様からのご要望にお応えして2300枚に及ぶ数量を手がけてきました
現在行われているハーフトーンマスクは一度マスク化された基板の上にハーフトーン膜を形成し、更にパターニングして作られます。
このようにハーフトーン膜がCr膜の上側に存在するタイプはトップ型ハーフトーンマスクと呼ばれています。
CSTハーフトーン膜は2002年よりトップ型のハーフトーン膜として実際の工程に使われ始めました。
以来、多くのお客様からのご要望にお応えして2300枚に及ぶ数量を手がけてきました。
【CST ハーフトーンシリーズ】
○FHTシリーズ（フィルムタイプ：Pure Cr）
→basic material transmission tolerance：1％以下
○HTシリーズ（フィルムタイプ：CrOx）
→basic material transmission tolerance：Δ5％～Δ10％以下
○PSシリーズ（フィルムタイプ：CrOx）
→basic material transmission tolerance：Δ5％～Δ10％以下
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基本情報ハーフトーンマスク「CST ハーフトーンシリーズ」
【CST ハーフトーンブランクス膜構成】
○Binary(CrOx)：300Å
○Binary(Cr) include barrier layer(80Å)：950Å or 700Å
○ES：100Å
○HT layer depends on its transparent rate or HT type：1140Å
→Phase Shift layer(CrOx) λ=365nm T=5%
○QZ
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