フィルム表面検査装置ブルーオーシャンテクノロジー

SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。
【装置アプリケーション】
■ウエハー内部のマイクロパイプ
■ウエハー内部の脈離
■表面傷検査、研磨痕検査
■異物検査（内部含む）
■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ）
■スクラッチ、ピット、泡の検査
■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計）
■マイクロクラック、ピンホール
■その他、外観検査全般　

基本情報フィルム表面検査装置

【装置構成】
（１）スーパーマクロ（ＳＭ－７５）
　・ウェハ局所のシュリーレン画像観察
　・局所画像の合成処理によるウェハ全体画像
（２）微分干渉顕微画像ステーション
　・ウェハ局所の暗視野顕、明視野顕微画像観察
（３）暗視野斜光画像ステーション
　・局所ウェハ表面の暗視野斜光画像観察
（４）偏光透過画像ステーション
　・局所ウェハ表面の偏光透過画像観察
（５）自動ステージ

【装置アプリケーション】
■ウエハー内部のマイクロパイプ
■ウエハー内部の脈離
■表面傷検査、研磨痕検査
■異物検査（内部含む）
■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ）
■スクラッチ、ピット、泡の検査
■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計）
■マイクロクラック、ピンホール
■その他、外観検査全般　

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般