触針式プロファイラー　P-7/P-17 アルバック／ULVAC, Inc.

優れた段差測定再現性！自動シーケンス測定機能付プロファイラーです。【アルバック／ULVAC】

P-7/P-17は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
優れた段差測定再現性。自動シーケンス測定機能、3タイプの測定ヘッド、Apex 2D解析/レポートソフトウェア付。
試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定等に最適です。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。

【特徴】
○優れた段差測定再現性（1σ＝0.4nm/1μm段差）
○自動シーケンス測定機能（標準20サイト、オプション1000サイト）
○3タイプの測定ヘッド（標準/低針圧/拡張レンジ）
○Apex 2D 解析/レポートソフトウェア

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - https://www.ulvac.co.jp/products_j/components/thin…

基本情報触針式プロファイラー　P-7/P-17

【仕様】
○型式：P-7,P-17
○測定長さ：150mm,200mm
○サンプルステージ直径：150mm,200mm
○XYステージ移動範囲：φ150,φ200mm　電動プログラマブル
○θステージ：360°手動,360°電動プログラマブル
○サンプル厚さ(最大)：55mm
○段差測定再現性：1σ＝0.4nm （1μm標準試料）
○垂直測定レンジ(最大)：327μm オプション：1000μm
○垂直測定分解能(最高)：0.001nm(6.5μmレンジ)
○針圧範囲：0.5～50mg
　オプション：0.03～50mg(測定レンジ 131μm)
○触針先端半径：2μmR
○プロファイルデータポイント：4,000,000
○自動シーケンス測定：20サイトオプション：1,000サイト
○ストレス測定：オプション 2Dストレス,オプション 2D/3Dストレス
○パターン認識：オプション
○プロファイルスティッチング：標準
○オートレベリング：標準

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	【用途】 ○試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。