株式会社昭和サイエンス アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」
- 最終更新日：2018-03-09 18:02:56.0
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従来品と同じ性能でスリム化を実現！空圧アクティブ除振ユニット
アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」は、VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。
独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。
床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。
【特徴】
○VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能
○空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能
○大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能
○CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラSAC-07）
○ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」
【仕様】
○制御自由度 ３軸６自由度
○位置精度 ±10μm
○所要空気源 0.6MPa以上 （クリーンエアー）
○所要電源 AC 100V～240V 100VA（単相）
○制御方式 加速度フィードバック、フロアフィードフォワード
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体製造及び検査装置 ○液晶製造及び検査装置 ○超精密工作機械 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログアクティブ除振ユニット 「VAAV-H」
取扱企業アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」
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●除振装置（アクティブ・パッシブ）の設計、製造、販売 ●精密光学機器の販売 ●防振工事（輪転機・立体駐車場等）MAFF工法の設計、施工
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