東海カーボン株式会社 超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」
- 最終更新日:2016-02-01 11:29:54.0
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半導体装置に最も適した材料!様々な用途で発揮されるソリッド SiC
ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。
ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD技術を応用し開発されました。
半導体装置に最適化され、半導体の可能性を拡げる材料として期待されています。
【特徴】
○CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群
○優れた高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性
○半導体に最も適した材料
○幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮
○肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応
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基本情報超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」
【各種物性値】
○結晶構造:β-SiC
○嵩蜜度(g/cm³):3.21
○電気抵抗(Ωcm):1×10⁻²~1×10⁴
○曲げ強度(Mpa):590
○ヤング率(Gpa):450
○熱伝導率(W/mK):250
○比熱(J/g・K):0.67
○熱膨張係数(×10ー6/K):4.0
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