幅広ロールコーター『FRC-500VT』富士アールアンドディー

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。
PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。
巻き上げはフィードバック制御です。
ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。
その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。
カソード用マグネットからターゲットの手配まで全てお任せください。

【特長】
○セッティング性に優れている
○サーボによる細かな制御
○シンプルな操作性
○搬送時の滑り防止
○カソードは引き出せ、ターゲットの交換も簡単

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報幅広ロールコーター『FRC-500VT』

【仕様】
○到達圧力：10-5Paオーダー
○機材収容サイズ：500mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250
○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能）
→最低設定速度：0.01m/min
○テンションコントロール
→巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける
→トルクはフィードバック制御にて行う
→10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定
○真空槽系
→材質：SUS304
→サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉
○機材送り機構
→回転速度可変用サーボモーター
→巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター
→真空シール回転導入部（磁気シール式）
○排気系
→ターボ分子ポンプ：2400L/sec（N2）
→ロータリーポンプ：1200L/min
○ガス導入系：マスフローコントローラー　O₂、Ar、N₂
○操作：操作、設定はタッチパネルで行う
○装置寸法（専有面積）：約5000W×5000D×2000H

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カタログ幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

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取扱企業幅広ロールコーター『FRC-500VT』

株式会社富士アールアンドディー

▼真空装置・パーツ・チャンバー制作・排気装置・蒸着装置・スパッタリング装置等・真空熱処理炉・含浸装置・脱ガス装置等・制御盤、電気、制御系の製作、改造 ▼ラップ盤・ポリッシュ盤の改造、オーバーホール・特殊仕様機制作・両面機、片面機オーバーホール・改造工事（定寸、リニア加圧等） ▼研究開発用機械・パーツ・特殊加工機・特殊部品・各種金属溶接、加工その他、多種の案件に柔軟に対応致します。